Nylonpolar纯化器--光刻化学品金属离子纯化新方案

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2026-10-28            环球过滤分离技术网             cowin1618

杭州科百特过滤器材有限公司是一家全球领先的专注于膜技术开发和应用的国家重点支持高新技术企业，公司建立了从滤膜、折叠滤芯、囊式过滤器、超滤膜堆、金属过滤器、金属滤芯、油水分离组件、过滤系统设计到验证测试分析的完整的过滤分离产业链，并已成为全球仅有的三家具备全产业链生产制造能力的企业之一。目前公司为国内超过90%的大型制药企业、80%以上的高端食品饮料企业、90%以上的微电子企业和众多的跨国化工集团、跨国医疗器械公司提供过滤产品和解决方案，同时为全球生命科学客户，提供满足新版GMP法规的各项试验和验证服务。

当前，针对集成电路制造中的微污染控制，特别是光刻化学品中的除金属杂质需求，科百特基于强大的膜研究开发能力，提出了有效的解决方案。光刻化学品中金属杂质的存在是缺陷产生的重要原因之一。不同于常规的颗粒物，残留在晶圆表面的金属杂质很难被直接观察到，因此提前将光刻化学品中的金属杂质含量降到尽可能的低是减少由金属杂质带来的缺陷的有效方法。

离子交换是常见的去除光刻化学品中的金属离子的有效方法。通过与磺酸根等离子交换基团的阳离子交换反应，金属离子可以有效的被固定在材料的表面。这个过程中被交换下来的氢离子将会进入到介质中，由于氢离子呈强酸性，对于一些酮类或者酯类化合物，如丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA，氢离子的存在可能催化水解，缩聚等一系列副反应的发生，导致光刻化学品的成分发生改变，最终影响芯片制程的良率。

基于这个现象，科百特开发了Nylonpolar金属离子纯化器。通过在尼龙膜的表面修饰羧基，羧基的存在可以有效的提高尼龙膜表面的亲水性，通过尼龙结构中自带的酰胺键与羧基的协同效应，在低极性溶剂中，也能实现高效的除金属离子效果，同时羧基的弱酸性不会带来明显的副反应，有效的解决了常规离子交换方式带来的副反应问题。Nylonpolar产品的问世，为光刻化学品除金属离子的技术难题提供了更安全，更稳定的解决方案，打破了欧美在这方面的技术垄断。该产品通过了日本知名光刻胶厂商的测试，并在国内外芯片制造商处得到了广泛的应用。

科百特拥有国家CNAS认证实验室、杭州市院士专家工作站、省级企业研究院、省级企业技术中心等创新平台。公司荣获工信部制造业单项冠军示范企业、浙江省名牌产品、浙江省隐形冠军企业、浙江制造精品等荣誉称号。公司主导产品滤芯和滤膜产品技术达到国际领先水平，拥有主持或参与修订的行业标准4项、有效授权专利147项，其中发明专利19项（数据截止于2022年03月31日）。2021年公司销售收入突破20亿元，年缴税超1亿元，近7年复合增长率超过45%。未来，公司将针对集成电路应用，生物制药应用和5G智能手机应用，以高性能纳米膜材料为龙头，进一步提供整体解决方案，解决关键原材料的进口依赖问题，打破国外关键技术及核心产品的垄断，为国家战略性的资源保障贡献自己的力量。

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