应用于半导体和微电子制程的微滤膜

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2026-10-20             环球过滤分离技术网            ultrafiltration1

       在半导体及微电子制程中，例如湿法蚀刻和清洗(WEC)、光刻和化学机械抛光(CMP)等工艺，液体纯度至关重要。随着晶体管继续缩小到难以想象的尺寸，捕捉纳米级的极小颗粒，有效控制微污染变得日益重要。

戈尔微滤膜将最高截留率和无可比拟的流速完美结合，使得由此制造的PTFE滤芯能够提高生产率和制程良率。

对于可靠性要求极高的应用，我们为滤芯制造商提供符合他们应用所需，在截留率和流速不打折扣的高品质微滤膜。我们高截留率和流速的微滤膜确保可重复的高性能、一致的品质和出色的高洁净度。

过滤技术领域数十年的创新与专长

戈尔在制造膨体聚四氟乙烯和控制其微观结构方面积累的深厚专业知识，可以让微滤膜增加截留率的同时也可以实现更高的通量，我们还能够根据特定用途来赋予微滤膜相应的特性。

戈尔不只是一家滤膜公司，我们还是过滤解决方案的全球专家。四十多年来，我们提供空气、气体、液体和颗粒过滤解决方案，帮助合作伙伴净化制程、提高良率和控制成本。

戈尔将继续深耕液体过滤产品市场，树立行业标杆，为半导体和微电子制程提供高品质、高性能和高可靠性的微滤膜。随着芯片设计日益精密，我们将继续开发新的微滤膜，帮助滤芯制造商能够跟上行业需求和挑战，提高制程良率。

微滤膜产品方案

通过微滤技术研发和广泛的应用测试，我们开发了一系列戈尔微滤膜，可满足多种关键应用和微过滤器件的应用需求。我们提供不同孔径的微滤膜，协助滤芯厂家快速开发高截留率和高通量的滤芯，同时也能针对不同应用也提供定制尺寸的微滤膜。

凭借戈尔的全球制造基地和供应链，我们能够快捷地向亚洲、美洲和所有地区的制造商分享我们的专业知识和提供ePTFE微滤膜，以满足这个不断创新的行业所要求的快速交付需求。

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材料结构	孔径参考尺寸(μm)	功能/应用
疏水膜（ePTFE）
光膜	0.015至10	腐蚀性化学品和溶剂型应用
PP Net覆膜	0.1至1.0	覆膜以增强支撑和强度
亲水膜(ePTFE)
光膜	0.1至10	水基工艺

微滤膜产品应用

40 多年来，戈尔的微滤膜在多种关键的工业液体过滤产品和系统中得到成功验证，用于：

• 半导体制程：在逻辑和存储芯片制造过程中，戈尔微滤膜成功地过滤掉纳米级颗粒和有害污染物。用戈尔微滤膜制造的滤芯可用于晶圆清洁设备，以减少晶圆缺陷。戈尔微滤膜在截留率与液体流速之间的平衡达到业内最佳的水平，从而在不影响产量的情况下实现了制程高良率。
• 微电子制造：戈尔微滤膜可提高 LED/OLED平板显示器(FPD)和其他微电子产品的良率，降低拥有成本。我们的微滤膜还可以为传感器和其他微电子器件生产制造提供始终如一的高性能和高品质，同样值得制造商信赖。
• 高纯度化学品生产：戈尔的ePTFE微滤膜本身具有化学惰性，可用于半导体级化学品生产，确保在化学品生产过程中减少颗粒，实现极高纯度。
  
  

您有新的液体管理项目需要高品质和可靠的微滤膜？立即联系我们，了解我们可以如何满足您的应用需求和要求。

微滤膜特点和优点

戈尔微滤膜具有其他过滤材料所不能达到的特性，能够经受具挑战性的环境条件和严苛的操作要求，包括：

• 清洁、不脱落的薄膜
• 极佳的抗化学腐蚀和耐热性
• 疏水膜和亲水膜可选
• 独特的ePTFE微孔结构，具有均匀一致的滤膜特性
• 提供0.015 μm至10 μm不同孔径级别的产品
• 不同批次以及卷料的膜产品一致性好
  
  

对于滤芯制造商而言，我们业内领先的微滤膜具有多项优点，可确保在半导体和微电子制造工艺中的可靠性，例如：

• 经验证在给定的截留水平下，具有更高的液体流速
• 始终如一的高品质和可重复的高性能
• 可靠过滤纳米级颗粒和有害污染物
• 减少晶圆缺陷，提高制程良率
• 性能和可靠性在过往数十年的诸多应用得到验证.
  
  

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