SEMI F57超纯水和液体化学品输送系统的高纯度聚合物材料和...

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2022-11-20   环球过滤分离技术网    guolvfenlitech6



SEMI F57规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度（UHP）聚合物材料和部件的最低性能要求，针对聚合物材料和组件的性能和验证。SGS协助聚合物材料及其组件制造商、与化学品与超纯水系统供货商和各大光电半导体厂符合 SEMI F57 系统下的各项测试要求，确保您的聚合物材料和组件符合半导体SEMI F57规范。

SEMI F57超纯水和化学品输送系统的高纯度聚合物材料和组件规范

SEMI F57 丨 聚合物和组件性能   |   超纯水和液态化学品输送

服务挑战

SEMI是国际半导体产业协会，主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程要求工艺使用的超纯水，超纯化学品的纯度越来越高，污染物水平越来越低，用于超纯水，超纯化学品运输和储藏的系统和和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范，大部分都是末端标准，对其各个组件的制造商来说，是无法直接应用。

目前在SEMI系列规范中，SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格，是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件，SEMI F57规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度UHP）聚合物材料和部件的最低性能要求，针对聚合物材料和组件的性能和验证。

● 需要执行SEMI F57的部件

● 离子污染標準

● 金属污染標準

● 总有机碳 (TOC）標準


● 表面粗糙度标准

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