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2020-08-31   环球过滤分离技术网   mfiltration8 
ISO/DIS 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级 
 
ISO分级 
 
大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3) 
 
0.1μm 
 
0.2μm 
 
0.3μm 
 
0.5μm 
 
1μm 
 
5μm 
 
ISO1级 
 
10 
 
2 
 
 
 
 
 
ISO2级 
 
100 
 
24 
 
10 
 
4 
 
 
 
ISO3级 
 
1000 
 
237 
 
102 
 
35 
 
8 
 
 
ISO4级 
 
10000 
 
2370 
 
1020 
 
352 
 
83 
 
 
ISO5级 
 
100000 
 
23700 
 
10200 
 
3520 
 
832 
 
29 
 
ISO6级 
 
1000000 
 
237000 
 
102000 
 
35200 
 
8320 
 
293 
 
ISO7级 
 
 
 
 
352000 
 
83200 
 
2930 
 
ISO8级 
 
 
 
 
3520000 
 
832000 
 
29300 
 
ISO9级 
 
 
 
 
35200000 
 
8320000 
 
293000 
 
 
 
其FDIS版本只需进行最后的修改和投票。它即将成为ISO/TC209在1998年年中发行的第一份正式标准。ISO14644-1把空气洁净度分为9个等级,比美国联邦标准209E多出3个等级(请参见表C和表D)。微粒数量触发点(trigger points)在ISO14644-1和FS209E之间只存在细微的差别(请参见表E)。请注意:所有的ISO数据都是以公制为基础的。 
 
 
 
表C 14644-1 
 
空气中的悬浮粒子的洁净度等级 
 
等级 
 
每立方米微粒的数量(单位:μm) 
 
 
0.1μm 
 
0.2μm 
 
0.3μm 
 
0.5μm 
 
1μm 
 
5μm 
 
ISO1 
 
10 
 
2 
 
 
 
 
 
ISO2 
 
100 
 
24 
 
10 
 
4 
 
 
 
ISO3 
 
1,000 
 
237 
 
102 
 
35 
 
8 
 
 
ISO4 
 
10,000 
 
2,370 
 
1,020 
 
352 
 
83 
 
 
ISO5 
 
100,000 
 
23,000 
 
10,200 
 
3,520 
 
832 
 
29 
 
ISO6 
 
1,000,000 
 
237,000 
 
102,000 
 
35,200 
 
8,320 
 
293 
 
ISO7 
 
 
 
 
352,000 
 
83,200 
 
2,930 
 
ISO8 
 
 
 
 
3,252,000 
 
832,000 
 
29,300 
 
ISO9 
 
 
 
 
35,200,000 
 
8,320,000 
 
293,000 
 
 
 
表D空气中的悬浮粒子的洁净度等级的对比 
 
ISO 14644-1 
 
FED STD 209E 
 
1 
 
 
 
2 
 
 
 
3 
 
1 
 
M1.5 
 
4 
 
10 
 
M2.5 
 
5 
 
100 
 
M3.5 
 
6 
 
1,000 
 
M4.5 
 
7 
 
10,000 
 
M5.5 
 
8 
 
100,000 
 
M6.5 
 
9 
 
 
 
 
 
表E 0.5μm时的等级比较 
 
ISO 
 
ISO14644-1 
 
FED STD 209E 
 
1 
 
- 
 
- 
 
2 
 
4 
 
- 
 
3 
 
35 
 
35.3 
 
4 
 
352 
 
353 
 
5 
 
3,520 
 
3,530 
 
6 
 
35,200 
 
35,300 
 
7 
 
352,000 
 
353,000 
 
8 
 
3,520,000 
 
3,530,000 
 
9 
 
35,200,000 
 
- 
 
 
 
洁净室系列标准是ISO标准的一个新体系,其工作由ISO/TC 209“洁净室和相关的控制环境”负责。此技术小组是在环境科学和技术学院(IEST)的协助下,由来自34个国家的1,000多名自愿者组成的。从现在到1999年底,TC209发行的10个标准将成为正式的ISO标准。 
 
各标准的题目和发行时间如下: 
 
ISO文件 
 
题目 
 
发行时间和形式 
 
ISO-14644-1 
 
空气洁净度的分类 
 
97年10月FDIS(发行时间已延迟到98年10月) 
 
ISO-14644-2 
 
洁净室的鉴定测试 
 
97年10月DIS 
 
ISO-14644-4 
 
洁净室的设计和结构 
 
97年10月DIS 
 
ISO-14698-1 
 
生物污染的一般原则 
 
97年10月DIS 
 
ISO-14698-2 
 
生物污染数据的鉴定和分析 
 
97年10月DIS 
 
ISO-14698-3 
 
表面的生物污染控制 
 
98年6月DIS 
 
ISO-14644-3 
 
测量学和测试方法 
 
98年9月DIS 
 
ISO-14644-5 
 
洁净室的操作 
 
98年10月DIS 
 
ISO-14644-7 
 
微观环境和绝缘体 
 
98年10月DIS 
 
ISO-14644-6 
 
术语、定义和单位 
 
99年2月DIS 
 
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