微孔滤膜在电子工业中的应用

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2019-11-12 环球过滤分离技术网  guolvtech
    微孔滤膜在电子工业中的应用
随着微电子工业的不断发展，特别是大面积集成电路和微波大功率半导体器件的飞速发展，对产品的原材料和生产环境的要求越来越高越严，如对空气，气体，溶剂，腐蚀剂，光致抗试剂和水等要求必须十分清洁，进而才能保证产品质量。

控制微粒污染的原则：首先要有清洁的材料，以后各道工序都要保持材料足够清洁，防止再污染。
1.气体净化过滤
对气体过滤一般纤维素酯滤膜，聚四氟乙烯滤膜。若气体管道污染，需使用净化的硝酸溶液洗涤，再用净化水清洗，最后通洁净空气干燥。
       若对器件或元件除尘时，可以用气体喷枪喷洗，在气体喷枪头上需安装微孔滤膜。

2.溶剂净化过滤
    对溶剂过滤，一般用再生纤维素滤膜，聚氯乙烯滤膜，聚四氟乙烯滤膜

3.腐蚀剂净化过滤
   对腐蚀剂过滤，一般使用聚四氟乙烯滤膜和聚氯乙烯滤膜

4.光致抗试剂净化过滤
   一般采用大容量过滤和使用点过滤，对光致抗试剂净化过滤，一般使用混合纤维素滤膜 尼龙滤膜和聚四氟乙烯滤膜。

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