Entegris解决方案｜湿法蚀刻和清洗

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2020-10-24   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech1

化学品运输和污染物去除的发展演变

Guardian®PS 1 nm 弱酸弱碱过滤器

在较低温度下用于弱酸和弱碱的先进关键清洗解决方案，包括DHF、BOE、SC1、SC2及其它高纯化学品

▪ 这款一流的过滤器采用独特的高流量聚砜薄膜，目的在于缩短启动(冲洗)时间并以1nm的过滤精度去除颗粒

Torrento®X 系列强酸强碱过滤器


采用一流的高流量PTFE薄膜，具有7nm的过滤精度，以捕获导致缺陷并引起良率损失的颗粒



▪ 在高温下用于强酸和强碱的先进关键清洗解决方案，包括硫酸(SPM)、HCl、NH4OH及其他化学品

QuickChange®NX 强酸和强碱过滤器




高性能 PTFE 薄膜和 PFA 结构可防止脱湿，避免流量突然下降和计划外的过滤器更换



▪ 兼容各类无机化学品，适和各种化学品温度和种类

TitanKlean®清洗解决方案




TitanKlean®是最完整的蚀刻后残留物去除 (PERR) 解决方案系列

▪ 专为所有BEOL集成方案而设计

▪ 改善缺陷率和使用成本

▪ 无受损ULK电介质

▪ 兼容多种阻隔/覆盖材料

▪ 一步式和多步式的多种解决方案

PlanarEx™选择性氮化物蚀刻解决方案




Entegris 选择性蚀刻配方旨在通过高精度过滤与纯化来拓宽工艺窗口，从而最大限度减少缺陷



▪ 选择性湿法蚀刻化学品在湿法蚀刻清洗的先进节点中克服 了功能电介质/金属之间的高选择性蚀刻带来的挑战

▪ 侧重于化学品与表面的相互作用，新配方和方法的开发有助于积累湿法蚀刻清洗领域的专业知识，以满足3D NAND的需求和要求.

来源于：英特格微电子  www.guolvfenlitech.com