电子特气控制系统

guolvfenlitech6

2021-09-17   环球过滤分离技术网   nanopure8

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关。

近年以来，中国在消费电子、汽车电子、工业控制等半导体新兴应用领域发展势头迅猛，多方利好推动下，中国承接第三次半导体产业转移已成定局。相关数据显示，未来3年中国将建设26座晶圆厂，占全球总数的42%，带来大量半导体相关设备需求。其中，高纯工艺系统在掺杂、光刻、刻蚀和CVD成膜工艺等环节必不可少，大约占集成电路资本总支出的3%，预计到2019年，全球高纯工艺系统市场规模将达到33.8亿美元，其中中国市场8.66亿美元，中国半导体级管阀件市场约4.33亿美元。图片来源于网络

高纯气路输送管阀件概念

高纯行业的工艺需要用到高纯净的特种气体，例如硅烷、氯气、氨气、笑气、磷烷、硼烷、四氟化碳、三氟甲烷、氦气、氩气、六氟化硫等。由于行业对气体的纯净度和流量控制精度要求极高，而且气体中有部分为易燃、易爆或具有强腐蚀性、剧毒性的特气，部分还具有高压、低温、排氧等特性，因此储存、输送以及使用上述高纯气体需用到洁净度好、密封性能优越、可以对气体流量进行测量和精确控制、可以实现气体压力的可控调节等功能的设备。

VIGOUR流体控制系统产品VSR-100UB系列减压阀采用优质Hastelloy®膜片及316L本体，整体流道经过EP（电解抛光）后达到Ra 10μin，可满足电子特气行业对于洁净度、密封性的严苛等要求。

高纯气路系统装置的组成部分

高纯气路输送管阀件是高纯气路系统装置的组成部分，属于供气系统领域，包括供气装置，所述供气装置连接有输气管道，在所述输气管道上分别设有控制阀门、减压阀门以及气压表，在所述输气管道上还设有若干支管道，在所述支管道上分别设有气阀和终端气压表，所述支管道分别与用户端相连，实现能够对各个实验室或工程以及设备进行集中供气。

来源于：网络整理，侵权告删   www.guolvfenlitech.com