日立高分辨场发射扫描电镜 Hitachi SU8010

日立高分辨场发射扫描电镜 Hitachi SU8010产品介绍：

　　日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的一致好评。

　　日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。

特点：

1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

（1）厂家型号

①国别厂家：日本日立公司

②型号：SU8010

（2）主要技术特点

①优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

② Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

③可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

④标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

⑤仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

（3）主要技术指标

①低加速电压，高分辨率

②减轻荷电影响的SE/BSE信号可变功能

③ SU8000系列的通用控制系统GUI

④配备了STEM功能附件

（4）功能附件

① X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，探测元素范围Be⁴-U⁹²

②扫描透射电子显微镜探头，即STEM，检测样品的透射像

③离子溅射仪，可喷Au、喷Pt，用于样品导电处理

1. 送样要求

2. 干燥的固体样品

3. 样品无磁性、无挥发性、无腐蚀性、放射性等对设备和人员产生损害的样品

4. 上述①②两项必须同时具备，方可测试