Chem 20™ – 可检测低至20 nm的颗粒,为先进化学品监测提供卓越的检测能力,助力前沿半导体制造工艺的污染控制。
Chem 20™ SM – 专为IPA(异丙醇)、PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)等危险化学溶剂应用环境设计,在确保安全运行的同时实现高灵敏度颗粒监测。
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