日立高新场发射扫描电子显微镜SU8200

日立高新场发射扫描电子显微镜SU8200系列

来源：日立科学仪器（北京）有限公司

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  日立高新场发射扫描电子显微镜SU8200系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8200 Series，SU8220，SU8230，SU8240）采用日立高新技术公司全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。在日立高新的新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，于5月20日开始发售。

　【主要特点】  

　日立高新新研发的冷场电子枪

　　•利用电子枪轰击后的高亮度稳定期，高分辨观察和分析兼顾

　　•大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

　　•减轻污染的高真空样品仓

　　•通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化