SEMI F57简介

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2022-11-20   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech6

一 标准介绍

SEMI F57 - Specification for Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。

国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水，超纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过 程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。

SEMI F57标准适用的主要产品类别有：

Ⅰ. 半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

Ⅱ. 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器；

二 SEMI F57 测试项目

1.SEMI F57 需要测试的4类参数：

• 阴离子污染

• 金属离子污染

• 总有机碳 TOC

• 表面粗糙度

2.SEMI F57的其他定性要求

• 机械性能

• 物理性能

• 耐化学性

• 可靠性

• 可追溯要求

• 包装要求

3.主要使用化学品

• UPW

• 酸，碱和氧化剂

• 盐水溶液

4. 不同产品对应的测试项目

三 纯度要求

1. 阴离子污染：

总共8类，名称和限值如下：

2. 金属离子污染：

总共22类，名称和限值如下

3. 总有机碳TOC：

TOC可以对半导体加工产生影响，包括硅氧化、蚀刻均匀性、清洗（包括晶片和掩模）、粘附、栅氧化层击穿电压、外延、原子层沉积（ALD）、氮化硅的CVD或其他薄膜沉积步骤。

• TOC要求如下：

4. 粗糙度：

• 对于不同工艺的产品表面粗糙度要求如下：

四 对聚合物材料及组件的通用要求

五 参考的标准

SEMI C69 — Test Method for the Determination of Surface Areas of Polymer Pellets

SEMI C90 — Test Methods and Specification for Testing Perfluoroalkoxy (PFA) Materials Used in Liquid Chemical Distribution Systems

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance, Subassemblies, and Final Assemblies

SEMI F40 — Practice For Preparing Liquid Chemical Distribution Components for Chemical Testing

SEMI F61 — Guide to Design and Operation of a Semiconductor Ultrapure Water Systems

SEMI F63 — Guide for Ultrapure Water used in Semiconductor Processing

ASTM D4327 — Anions in Water by Chemically Suppressed Ion Chromatography

ASTM D4779 — Total, Organic, and Inorganic Carbon in High Purity Water by Ultraviolet (UV) or Persulfate Oxidation, or Both, and Infrared Detection

ASTM D5904 — Standard Test Method of Total Carbon, Inorganic Carbon, and Organic Carbon in Water by UV, Persulfate Oxidation and Membrane Conductivity Detection

ISO 4287 — Geometrical Product Specifications (GPS) – Surface Texture: Profile Method – Terms, Definitions and Surface Texture Parameters

SEMASPEC 92010936B-STD — Provisional Test Method for Determining Leachable Trace Inorganics in Ultra Pure Water Distribution System Components

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