2.不同工艺环节的要求差异
前端关键工艺(如晶圆制造中的清洗、蚀刻、光刻等):通常需使用G4及以上级别的化学品,尤其是涉及栅极、介质层、浅沟槽隔离等关键结构的步骤。先进制程(如28nm、14nm及更小)往往要求G5级别。
后端工艺及封装:对纯度的要求相对前端制造可适当放宽,可能会使用G3或G4级别的产品。
3.解读SEMI标准
SEMI标准由国际半导体产业协会制定,是全球半导体行业公认和广泛采用的标准。它主要通过对金属杂质含量、颗粒含量和控制粒径的严格控制,来定义湿电子化学品的纯度级别,以适应不同线宽的集成电路制造工艺。
数字和等级的关系:在SEMI标准中,数字编号(如C1, C7, C8, C12)和Grade等级(如Grade1, Grade2)是联合使用、一一对应的。例如,SEMI-C1标准对应的是Grade1级别的化学品。通常,数字越大或Grade等级数字越小,代表的纯度要求越高。例如,C12 (Grade4) 的要求远比C1 (Grade1) 苛刻。
“C12”与“Grade5”:您可能会注意到表格中出现了“C12 (Grade4)”和“Grade5”。在一些资料中,Grade5被视为最高等级,适用于更先进的制程(如线宽<0.09μm)。它有时也被单独列出,表明其技术指标通常由供需双方协商确定,代表了当前最顶尖的水平。
4.其他标准体系
除了SEMI国际标准,市场上还存在一些区域性或企业标准:
国内标准:中国国内有一些历史形成的标准,如BV系列标准(如BV-III, BV-IV等)。这些标准与国际SEMI标准有大致对应关系,但SEMI标准在国际上更通用和权威。
其他国外标准:例如欧洲的德国默克(Merck)标准、日本的关东化学(Kanto)和和光纯药工业(Wako)标准等,这些通常在某些特定区域或领域内有其影响力。
5.技术挑战与分类
制备G5级别的湿电子化学品技术门槛极高,目前核心技术主要掌握在欧美、日韩等少数企业手中。
技术难点主要在于:
·超高纯纯化技术:如何将金属杂质稳定地控制在ppt级别。
·超洁净包装与储存技术:防止二次污染。
·分析检测技术:准确测量ppt级别的杂质含量。
·批次稳定性控制:保证大规模生产的产品质量一致。
目前,国内湿电子化学品产业在G2、G3级别已较为成熟,但G4及以上更高端的产品仍很大程度上依赖进口,国产替代空间广阔。
根据观研报告网发布的《中国湿电子化学品市场发展态势分析与投资战略预测报告(2023-2030年)》显示,从大类来分,一般可划分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品。根据中国电子材料行业协会数据,通用湿电子化学品占比88.2%,其中过氧化氢占比16.7%,氢氟酸占比16%,硫酸占比15.3%,硝酸占比14.3%。功能湿电子化学品占比11.8%,其中MEA等极性溶液占比3.2%,显影液(半导体用)占比2.7%,蚀刻液(半导体用)占比2.2%。

