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标题: SPM(硫酸混合清洗液)清洗技术 [打印本页]

作者: guolvfenlitech6 时间: 2 小时前
标题: SPM(硫酸混合清洗液)清洗技术

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2026-09-22 环球过滤分离技术网 cowinfiltration6

硫酸混合液清洗(SPM Clean)技术

1,SPM成分组成: 98% H2SO4:30% H2O2=5:1 @125℃,

2,主要作用：

光阻残余物剥离
去处有机粘污物

3,反应机理：

硫酸可以使有机物脱水而碳化，而双氧水可将碳化产物氧化成一氧化碳或二氧化碳气体。

H2SO4+H2O2

HO-(SO2)-O-OH<H2SO5>+H2O

HO-(SO2)-O-OH+ (CH2)n

CO2+H2O

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