SEMI F57超纯水和液体化学品输送系统的高纯度聚合物材料和... - 环球过滤分离技术网（http://guolvfenlitech.com）是中国过滤.分离.净化.纯化、超洁净技术行业领先的前沿科技、产品和技术信息供求，技术解决方案，技术交流分享以及过滤、分离、纯化、超洁净产品和技术供需服务平台。

SEMI是国际半导体产业协会，主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程要求工艺使用的超纯水，超纯化学品的纯度越来越高，污染物水平越来越低，用于超纯水，超纯化学品运输和储藏的系统和和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范，大部分都是末端标准，对其各个组件的制造商来说，是无法直接应用。

目前在SEMI系列规范中，SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格，是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件，SEMI F57规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度UHP）聚合物材料和部件的最低性能要求，针对聚合物材料和组件的性能和验证。

● 需要执行SEMI F57的部件