科学仪器在半导体研发中起到关键作用，半导体的纯度、杂质、性能检测都离不开科学仪器，因此越来越多的科学仪器厂商对于半导体领域愈发重视。伴随着政策的支持、资本的注入，国内半导体市场必将成为最具发展潜力的产业之一；随着半导体研发项目的增加及产量的提升，对于科学仪器的需求必将增大，这将直接拉动科学仪器企业半导体领域的仪器销量和业绩，成为备受瞩目的盈利增长点。
仪器信息网综合科学仪器在硅材料、光掩模、光刻材料、电子气体、工艺化学品、抛光材料、靶材、封装材料等领域的应用整理了一份仪器清单，近200类仪器或将在伴随着未来半导体行业发展的“黄金十年”而大展拳脚。（以下仪器可能存在并列或包含关系，未进行区分）
序号 | 仪器 |
1 | 高频红外碳硫分析仪 |
2 | 高阻仪 |
3 | 高速老化试验箱 |
4 | 高温试验箱 |
5 | 高效液相色谱 |
6 | 高压离子色谱系统 |
7 | 高低温湿热交变试验箱 |
8 | 高低温冲击试验箱 |
9 | 高低温交变湿热试验箱 |
10 | 飞行时间二次离子质谱仪 |
11 | 颗粒仪 |
12 | 频谱分析仪 |
13 | 顶空-气相色谱-质谱联用仪 |
14 | 顶空-气相色谱 |
15 | 非金属膜厚仪 |
16 | 阿贝闪点仪 |
17 | 阳离子色谱仪 |
18 | 针/锥入度仪 |
19 | 金相显微镜 |
20 | 金属膜厚仪 |
21 | 酸开封机 |
22 | 透射电子显微镜 |
23 | 透光率/雾度测定仪 |
24 | 辉光放电质谱仪 |
25 | 超高温差热分析仪 |
26 | 超纯水机 |
27 | 超景深显微系统 |
28 | 超声扫描显微镜 |
29 | 表面缺陷检测系统 |
30 | 表面张力仪 |
31 | 色谱仪 |
32 | 自动研磨机 |
33 | 自动电位滴定仪 |
34 | 自动滴定仪 |
35 | 能量色散型X射线荧光分析仪 |
36 | 聚焦离子束扫描电子显微镜 |
37 | 聚焦离子束场发射扫描电子显微镜 |
38 | 聚焦离子束 |
39 | 耐压测试仪 |
40 | 网络分析仪 |
41 | 维氏硬度计 |
42 | 纳米粒度仪 |
43 | 红外光谱仪 |
44 | 紫外老化箱 |
45 | 紫外/可见分光光度计 |
46 | 精密研磨机 |
47 | 精密切割机 |
48 | 粘着力测试仪 |
49 | 粘度计 |
50 | 等离子聚焦离子束 |
51 | 空气粒子计数器 |
52 | 离子色谱仪 |
53 | 离子研磨仪 |
54 | 磷检区熔炉 |
55 | 磨损测试系统 |
56 | 硝酸提纯仪 |
57 | 研磨机 |
58 | 矢量网络分析仪 |
59 | 矢量信号发生器 |
60 | 直读光谱仪 |
61 | 盐雾试验箱 |
62 | 界面材料热阻及热传导系数测量系统 |
63 | 电热鼓风干燥箱 |
64 | 电感耦合等离子质谱仪 |
65 | 电感耦合等离子发射光谱仪 |
66 | 电感耦合等离子光谱仪 |
67 | 电导率仪 |
68 | 电子天平 |
69 | 电子分析天平 |
70 | 电化学工作站 |
71 | 电位滴定仪 |
72 | 热风回流焊 |
73 | 热重分析仪 |
74 | 热机械分析仪 |
75 | 热常数分析仪 |
76 | 热导气相色谱 |
77 | 热导检测器气相色谱仪 |
78 | 热导分析仪 |
79 | 激光粒度仪 |
80 | 激光粒子计数器 |
81 | 激光散射粒径分布分析仪 |
82 | 激光开封机 |
83 | 激光导热仪 |
84 | 漏电起痕测试仪 |
85 | 温度循环试验箱 |
86 | 混合气体试验箱 |
87 | 液相色谱质谱联用仪 |
88 | 液相色谱仪 |
89 | 液体颗粒计数仪 |
90 | 液体颗粒仪 |
91 | 液体粒子传感器 |
92 | 流变仪 |
93 | 水氧分析仪 |
94 | 水分析仪 |
95 | 水分仪 |
96 | 氧氮氢分析仪 |
97 | 氧弹燃烧离子色谱仪 |
98 | 氧化物膜厚仪 |
99 | 氧分仪 |
100 | 氦离子化气相色谱仪 |
101 | 氦气氟油加压检漏装置 |
102 | 氦检漏仪 |
103 | 氢火焰离子化气相色谱仪 |
104 | 氙灯老化机 |
105 | 气相色谱仪 |
106 | 气相色谱-质谱联用仪 |
107 | 气相色用仪 |
108 | 气体分析仪 |
109 | 显微红外分析仪 |
110 | 数字式硅晶体少子寿命测试仪 |
111 | 放电氦离子化气相色谱仪 |
112 | 摆锤冲击试验机 |
113 | 接触角测量仪 |
114 | 拉力剪切仪 |
115 | 扫描电镜-电子背散射衍射 |
116 | 扫描电镜 |
117 | 扩展电阻测试仪 |
118 | 手动磨抛机 |
119 | 感应偶合等离子质谱仪 |
120 | 恒温恒湿箱 |
121 | 总有机碳检测仪 |
122 | 快速高低温湿热交变试验箱 |
123 | 微量水分仪 |
124 | 微量氧分析仪 |
125 | 微波消解仪 |
126 | 微机控制万能（拉力）试验机 |
127 | 微控数显电加热板 |
128 | 微探针台 |
129 | 影像仪 |
130 | 库伦法卡尔费休水分仪 |
131 | 库仑法卡氏水分测定仪 |
132 | 库仑水分滴定仪 |
133 | 差示扫描量热仪 |
134 | 少子寿命分析仪 |
135 | 导电型号测试仪 |
136 | 密度仪 |
137 | 多参数测量仪 |
138 | 多功能颗粒计数仪 |
139 | 塑料摆锤冲击试验机 |
140 | 场发射扫描电镜 |
141 | 四探针阻抗仪 |
142 | 台阶仪 |
143 | 台式BSE扫描电子显微镜 |
144 | 可编程晶体管曲线图示仪 |
145 | 可焊性测试仪 |
146 | 原子力显微镜 |
147 | 单面抛光机 |
148 | 半导体参数测试仪 |
149 | 动态热机械分析仪 |
150 | 凝胶渗透色谱 |
151 | 冷热冲击试验箱 |
152 | 冷场扫描电镜 |
153 | 关键尺寸扫描电子显微镜 |
154 | 全自动色度测试仪 |
155 | 光学金相显微镜 |
156 | 光学膜厚仪 |
157 | 傅立叶变换近红外光谱仪 |
158 | 傅立叶变换红外光谱仪 |
159 | 低温试验箱 |
160 | 低温傅立叶变换红外光谱仪 |
161 | 二维X射线检测仪 |
162 | 两探针电阻率测试仪 |
163 | 三重四极杆ICPMS |
164 | 三维立体成像X射线显微镜 |
165 | 三维光学轮廓仪 |
166 | 三坐标测量机 |
167 | 万能试验机 |
168 | 万能推拉力试验机 |
169 | α-粒子计数器 |
170 | X射线检测仪 |
171 | X光电子能谱仪 |
172 | TOC仪 |
173 | 纳米粒度仪 |
174 | PH计 |
175 | EMI扫描台 |
176 | 单面抛光机 |
177 | CNC视像测量系统(三次元) |
178 | 8寸化学机械研磨机台 |
179 | 3D立体显微镜 |
180 | 12寸晶圆缺陷检测机 |
181 | 12寸化学机械研磨机台 |
182 | 三参数测定仪 |
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